乾冰清洗
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Super Clean SCS系列

  • 清洗領域

。實現無人化不斷線自動清洗系統

。適用清洗之材質：各種金屬與合金；各種陶瓷、玻璃、矽晶、高分子等

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  • 產品特色
  1. 因應高精密洗淨需求，符合無塵室清洗規範
  2. 專利噴嘴設計
  3. 結合高度自動化的先趨技術
  4. 具備便利、即時、環保的特性，可設定不同的噴射參數
  5. 乾式超精密清洗／非接觸式微清洗，不需處置二次廢料
  6. 設備輕量、模組化應用更廣泛，機動性高
  7. 生產製程無斷點
  8. 清洗範圍：陶瓷，玻璃，矽晶，真空系統用零組件，表面分析用儀器，無塵室及室中所用之夾治具與搬運器，Si, InP, GaAs 晶圓、光罩、晶片等之微粒去除，光學元件，LCD元件，平板顯示器，X-ray 鏡片，UV/IR鏡片，雷射濾鏡等。
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